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碳化硅石墨托盘
碳化硅石墨托盘
碳化硅石墨托盘是快速退火炉RTP系列配件，采用进口等静压石墨精密制造，可有效提高设备的温度均匀性（以嘉仪通RTP-3-08为例，温度均匀性可以从1.5%提升到1.0%）。
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石英样品托架
石英样品托架
石英样品托架是快速退火炉RTP系列配件，采用高纯度石英砂（99.95%）精密制造，高温环境下仍可保持稳定的化学性质。用于承载石墨托盘，也可以直接承载晶圆。适用于1-12英寸快速退火炉。
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红外加热灯管
红外加热灯管
红外加热灯管是快速退火炉RTP系列配件，使用卤素循环设计，响应时间短。可以配合复杂的加热编程，达到精准可控的红外能量输出，满足半导体工业对精确温度与加热区域的严格要求。
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光功率热分析仪(OPA-3)
光功率热分析仪(OPA-3)
光功率热分析仪是世界首台纳米级薄膜材料物性分析仪，填补了国际对纳米级薄膜材料无损检测其相变温度和热膨胀系数的技术空白！不仅可用于检测块体，还可检测低至1nm的薄膜材料。根据材料相变前后光学性质（反射光功率）有较大差异的特性检测材料的相变温度，依据光干涉原理检测透光材料的热膨胀系数，融合了相变温度分析仪和热膨胀系数分析仪的两项功能。
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