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碳化硅石墨托盘

碳化硅石墨托盘是快速退火炉RTP系列配件，采用进口等静压石墨精密制造，可有效提高设备的温度均匀性（以嘉仪通RTP-3-08为例，温度均匀性可以从1.5%提升到1.0%）。
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1、耐高温

2、导热导电性好

3、化学性能稳定

4、高硬度


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碳化硅石墨托盘
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